眾合科技(000925)
產品與服務
半導體領域

浙江海納半導體有限公司,是浙江眾合科技股份有限公司旗下主力成員企業之一,成立于2002年9月,前身是1970年成立的浙江大學半導體廠。公司在硅單晶體生長技術、硅材料缺陷研究、硅片切割研磨、硅晶圓拋光技術、硅片檢測等各個方面都有著深入的研究和開發。是一家集研發、制造、銷售及服務為一體的國家級高新技術企業。

公司主要產品為3-8英寸半導體級硅單晶錠、高端研磨片及拋光片,應用于集成電路、分立器件、敏感元器件與傳感器、LED、節能燈等多個領域,在國內外市場具有較高的知名度和影響力。

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2017年,公司收購日本株式會社松崎製作所,拓展日本市場,同時為海納公司自行生產加工8寸、12寸硅片打下堅實基礎。

松崎制作所是一家在日本細分行業中名列前茅的8英寸拋光硅片公司,創立于1973年,于1985年更名為松崎制作所。擁有本社工廠、出云工廠、福井工廠三個工廠。自創立以來,公司一直追求精密的拋光?清洗技術,以行業最高水平的潔凈硅片的穩定供給為目標,作為電子產業的后方在微觀世界中日益精進。公司以測試?monitor硅片、dummy硅片、再生硅片的拋光清洗為主要事業,精密加工精度、質量得到了絕大客戶的信賴。

 

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產品概述

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生產工藝

 

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技術資源

2  海納生產管理系統單晶模塊軟件V1.0 軟件著作權 2021/5/12 2021SR0676373

2  一種用于硅片散熱的金剛石膜散熱結構 實用新型專利 2021/5/4 ZL202022082889.6

2  提升效率的晶錠切片裝置 實用新型專利 2020/12/15 ZL202020286451.7

2  用于直拉單晶爐熱場的三相交流加熱器 實用新型專利 2020/11/10 ZL202020288304.3

2  一種用于硅片制備的金剛石膜片 實用新型專利 2020/5/4 ZL202022082924.4

2  海納生產管理系統單晶模塊軟件V1.0 軟件著作權 2019/1/21 2019SR0068256

2  籽晶夾頭 實用新型專利 2019/1/15 ZL201820905511.1

2  用于直拉單晶爐熱場的加熱器及使用方法 發明專利 2018/8/10 ZL201610074730.5

2  一種全自動插片機 實用新型專利 2017/8/1 ZL201621263664.8

2  一種全自動插片機 實用新型專利 2017/7/21 ZL201621219920.3

2  一種全自動插片機 實用新型專利 2017/7/21 ZL201621262866.0

2  調整單晶棒晶向的方法及測量方法 發明專利 2017/1/11 ZL201510330222.4

2  一種提高單晶硅棒利用率的加工方法 發明專利 2017/1/4 ZL201510331104.5

2  對稱式硅片盒 實用新型專利 2016/8/24 ZL201620114003.2

2  直徑轉變的直拉單晶硅生長方法 發明專利 2016/6/29 ZL201310191294.6

2  用于直拉法制備單晶硅的籽晶夾持器及使用方法 發明專利 2015/12/16 Zl201210139199.7

2  適用于多線切割機加工時工件裝載的夾具及緊固方法 發明專利 2014/8/6 ZL201210086779.4

2  直拉硅單晶的鎵元素摻雜方法及所用摻雜裝置 發明專利 2012/4/25 ZL201010132399.0

2  適用于輕摻及中高阻直拉硅單晶的摻雜裝置 實用新型專利 2011/11/23 ZL201120085198.X

2  單晶/多晶硅片的清洗方法 發明專利 2011/4/6 ZL200910154751.8

2  一種用硅單晶薄片制造晶體管的方法 發明專利 2010/12/1 ZL200910152416.4

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